• PINUS1-B

    关键字导读: PECVD PVD ETCH MEMS

    描述:直驱电机结构,全新的IO模块,具有先进的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能,拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制,手臂长度可选,可为客户提供接口及末端定制服务。

    简介

    Introduction

    直驱电机结构具有更高的真空特性,内部结构没有齿轮,皮带等部件,系统运行的平稳性更好,可靠性更高。全新的IO模块,具有更多的输出输入引脚,用户可以根据需求配置成互锁,传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能,方便客户配置AWC等位置锁存功能应用。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能,减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕manbetx客户端下载地址示教器,方便调试人员使用,并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z轴行程,耐高温耐腐蚀特性等。


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    参数

    Parameter


    本体重量Body Weight
    50KG
    适用晶圆尺寸Wafer Size
    300mm/200mm/150mm/125mm/100mm
    负载Payload
    1KG
    电源输入Power Supply
    AC电压:100-240V    AC频率:50HZ/60HZ
    节拍Bear
    4s-8.1s(Pick,Rotate180°,Place,根据手指材料,传输位置不同相关)
    动态偏差纠正精度(AWC)
    ±0.1mm
    重复定位精度Repeatability
    Z: ±0.05mm(3σ)
    T: ±0.003°(3σ)
    R: ±0.05mm(3σ)
    漏率Leak rate
    <  1 x 10E-9 std. cc/sec He
    真空度Base Pressure
    5X10-9Torr

    适用温度 Applicable  temperature

    法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃

    洁净度Clean Class

    ISO  CLASS1

    MCBF

    >1100million cycles

    复合运动 Compound  motion

    支持Support
    PC远程操作软件
    支持Support
    通信接口Communications

    Ethernet/串口serial interface

    IO互锁IO interlock

    支持Support

    安全区Safe area

    支持Support

    碰撞保护Collision  protection

    支持Support